Прибор ионно-лучевого травления ИЛТ-050

0,00 

Прибор ионно-лучевого травления ИЛТ-050 представляет собой приставку к вакуумному универсальному посту ВУП-5М (ВУП-5). Приставка предназначена для осуществления операций, связанных с распылением и травлением материалов в вакууме ионным пучком с целью исследования полученных поверхностей и материалов (методами растровой и просвечивающей электронной микроскопии и другими).

Область применения

Приставка может быть использована в лабораториях при исследованиях по физике твердого тела, микроэлектронике для получения новых материалов, а также применима при выполнении отдельных технологических операций.

Приставка относится к исполнению УХЛ категории 4.2 по ГОСТ 15180-69.

Габаритные размеры

 

Габаритные размеры, мм, не более:

 

рабочий объем

внутренний диаметр
высота
высота с установленным источником (сверху)

230
250
500

модуль источников питания

длина
ширина
высота

500
520
180

Эксплуатация

Оптимальными условиями для использования прибора ионно-лучевого травления ИЛТ-050 являются:

  • температура окружающей среды от 15 до 25°С
  • относительная влажность воздуха не более 80 %

12 в наличии

Описание

Технические характеристики
Параметры Значения
Диапазон рабочего давления в объеме при работе приставки от 6,0×10-5 до 8×10-4 мм. рт. ст
Электрическое питание приставки от сети переменного тока напряжением 220 В частотой 50 Гц
Потребляемая мощность не более 600 Вт
Масса 60 кг
Внутренний объем высоковакуумного объема приставки 12 л
Максимальное напряжение на выходе высоковольтного блока питания анода не более 8 кВ
Максимальное напряжение на выходе высоковольтного блока питания, фокусирующего не более 8 кВ
Напряжение блока питания разряда не менее 800В
Разрядный ток ионных пушек 50 ± 3 мА
Ионный ток на образце от 30 до 600 мкА

Поставщик: ООО «ОЗДС»